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申请/专利权人：泉芯半导体科技(无锡)有限公司
摘要：本实用新型公开一种用于硅片甩干机的停机定位机构，其包括转轴、第一驱动件、顶出定位组件、定位盘、计数轮盘和第一感应件，第一驱动件用于驱动转轴、计数轮盘和定位盘同步转动；定位盘上开设有定位槽，顶出定位组件包括顶出驱动件和定位件，顶出驱动件的驱动端连接定位件，以驱动定位件靠近或远离定位盘；计数轮盘上均布有若干个计数齿。上述用于硅片甩干机的停机定位机构在停机定位时，第一驱动件控制转轴减速至预设转速后，第一感应件和计数轮盘配合开始计数，当第一感应件感应到预设个数的计数齿时，顶出驱动件驱动定位件靠近定位盘并插入定位槽内，对转轴进行停机定位，不仅结构简单、设计巧妙，而且定位精度高，占用空间小，维修方便。
主权项：1.一种用于硅片甩干机的停机定位机构，其特征在于，所述用于硅片甩干机的停机定位机构包括转轴、第一驱动件、顶出定位组件、定位盘、计数轮盘和第一感应件，其中，所述计数轮盘和所述定位盘均固定安装在所述转轴上，所述第一驱动件被配置为通过传动组件驱动所述转轴、所述计数轮盘和所述定位盘同步转动；所述顶出定位组件设置在所述定位盘的边侧，所述定位盘的周缘上间隔开设有若干个定位槽，所述顶出定位组件包括顶出驱动件和定位件，所述顶出驱动件的驱动端连接所述定位件，所述顶出驱动件驱动所述定位件靠近或远离所述定位盘；所述第一感应件固定在所述计数轮盘的边侧，所述计数轮盘的周缘上均布有若干个计数齿；停机定位时，所述第一驱动件控制所述转轴减速至预设转速后，所述第一感应件和所述计数轮盘配合开始计数，当所述第一感应件感应到预设个数的计数齿时，所述顶出驱动件驱动所述定位件靠近所述定位盘并插入其中的一个所述定位槽内，以对所述转轴进行停机定位。
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