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申请/专利权人：北京工业大学
摘要：一种基于菱形振子驱动的微型气浮测头属于高精度测量和机电技术领域；本发明装置的基座上固连有两个气浮短套，基座与气浮短套之间安装有气浮导轨，气浮导轨的两端分别固连有测针和金属靶；气浮导轨中部安装有菱形振子，菱形振子的周侧安装有预紧铰链，预紧铰链与菱形振子两侧的配合关系为过盈配合，预紧铰链与电机罩壳通过上方的安装孔固连，电机罩壳安装在两个气浮短套之间并固连在基座上，在面对金属靶的一侧安装有电容传感器。本发明装置在原理上没有阿贝误差，具有主动触发和自锁功能，因此具有触发测量力小、测量精度高的优点。
主权项：1.一种基于菱形振子驱动的微型气浮测头，包括测针1、基座2，其特征在于：所述基座2固连有两个气浮短套3，基座2与气浮短套3之间安装有气浮导轨4，气浮导轨4的两端分别固连有测针1和金属靶5；所述气浮导轨5中部加工有凹槽6，在凹槽6内安装有菱形振子7，菱形振子7的周侧安装有预紧铰链8，预紧铰链8与菱形振子7两侧的配合关系为过盈配合，预紧铰链8的上方与电机罩壳9固连，电机罩壳9安装在两个气浮短套3之间并固连在基座2上，在面对金属靶5的一侧安装有电容传感器10，电容传感器10通过固定座11安装在基座2上，电容传感器10与金属靶5被传感器罩壳12包裹，传感器罩壳12固连在基座2上；安装时，气浮短套3与气浮导轨4之间留有间隙，单侧的间隙范围是7-12微米；在菱形振子7的振动节点处加工有安装孔13，菱形振子7通过安装孔13安装在凹槽6上；菱形振子7上粘接有若干片压电陶瓷14；工作时，高压气体通入气浮短套3与气浮导轨4之间的间隙，此时气浮导轨4处于悬浮状态，与气浮短套3不接触，因此几乎没有摩擦力；给压电陶瓷14通上具有相位差的正弦电流，便可驱动菱形振子9产生高频椭圆运动，虽然菱形振子9与预紧铰链10接触配合，但预紧铰链10受力后自身可产生弹性形变，因此驱动着菱形振子9沿导轨直线运动，进而带动气浮导轨5和测针1沿导轨方向运动。
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权利要求：
百度查询： 北京工业大学 一种基于菱形振子驱动的微型气浮测头
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