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一种基于钙钛矿半导体的虚拟弗里希栅器件及其制备方法 

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申请/专利权人:苏州大学

摘要:本发明涉及一种基于钙钛矿半导体的虚拟弗里希栅器件及其制备方法,属于半导体辐射探测技术领域。本发明公开了一种基于钙钛矿半导体的虚拟弗里希栅器件,包括钙钛矿晶体、设于钙钛矿晶体两端的电极、设于钙钛矿晶体侧壁的绝缘层以及设于绝缘层外周的弗里希栅极。本发明在不改变电场的情况下,优化权重势场,使整个晶体分成阻挡高能射线的沉积区和载流子漂移的测试区,有效提升半导体器件的探测体积。且本发明基于钙钛矿半导体的虚拟弗里希栅器件的制备方法简单易行,材料易获取,工艺成本低,效果显著。基于该方法,有利于拓展钙钛矿大体积单晶探测器的应用场景,对于新型辐射探测半导体材料的开发及大范围筛选有着重要的意义。

主权项:1.一种基于钙钛矿半导体的虚拟弗里希栅器件,其特征在于,包括钙钛矿晶体、设于钙钛矿晶体两端的电极、设于钙钛矿晶体侧壁的绝缘层以及设于绝缘层外周的弗里希栅极。

全文数据:

权利要求:

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