买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

申请/专利权人：北京莱伯泰科仪器股份有限公司

摘要：本发明公开一种调频机制的全固态等离子体射频发生器及其调频方法，等离子体射频发生器包括依次电性连接的系统控制电路、频率信号驱动电路、功率放大电路、射频滤波和阻抗变换电路、射频采样电路、功率分配电路、第一阻抗匹配电路及负载，以及电性连接到系统控制电路的高压点火器与等离子体光电传感器。系统控制电路根据射频采样电路采集的相位信息和幅值信息控制第一阻抗匹配电路中的并联可调电容器和频率信号驱动电路输出的射频信号的频率，根据射频采样电路采集的正向功率信息和反射功率信息控制频率信号驱动电路输出的射频信号的功率的大小，且系统控制电路根据等离子体的状态执行不同的阻抗匹配调频算法，更好地兼顾了匹配速度和匹配精度。

主权项：1.一种调频机制的全固态等离子体射频发生器，其特征在于，包括依次电性连接的系统控制电路、频率信号驱动电路、功率放大电路、射频滤波和阻抗变换电路、射频采样电路、功率分配电路、第一阻抗匹配电路及负载，还包括电性连接到所述系统控制电路的高压点火器与等离子体光电传感器，其中：所述负载的两端连接所述第一阻抗匹配电路的两个输出端，所述负载的中心虚拟接地；所述频率信号驱动电路还电性连接所述系统控制电路，其输出的射频信号的频率实时跟随所述负载的变化而变化，其输出的射频信号的大小由所述系统控制电路进行反馈调节；所述射频采样电路还电性连接所述系统控制电路，所述射频采样电路采集所述射频滤波和阻抗变换电路输出的射频信号的相位信息、幅值信息、正向功率信息和反射功率信息，并将这些信息输出给所述系统控制电路，所述系统控制电路接收所述射频采样电路的射频采样信号并控制所述频率信号驱动电路输出的射频信号的频率和功率；所述功率分配电路将接收的射频信号分配成两路幅值相同、相位相差为180°的射频信号，并分别经过所述第一阻抗匹配电路后从所述负载的两端输入；所述第一阻抗匹配电路还电性连接所述系统控制电路，以使所述系统控制电路根据所述负载的变化配合所述频率信号驱动电路的频率变化控制所述第一阻抗匹配电路实时完成阻抗匹配，其中，所述第一阻抗匹配电路包括至少一串联电容器和至少一并联可调电容器；所述高压点火器能够激发气体形成等离子体，所述光电传感器设置于等离子体处并将感测结果传输给所述系统控制电路；其中，所述系统控制电路根据所述射频采样电路采集的相位信息和幅值信息控制所述第一阻抗匹配电路中的并联可调电容器和所述频率信号驱动电路输出的射频信号的频率，所述系统控制电路根据所述射频采样电路采集的正向功率信息和反射功率信息控制所述频率信号驱动电路输出的射频信号的功率的大小。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 北京莱伯泰科仪器股份有限公司 一种调频机制的全固态等离子体射频发生器及其调频方法