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摘要：本发明属于半导体测试技术领域，公开了一种WAT测试中探针卡检测方法、装置、设备及存储介质，通过在远程控制管理平台与晶圆接受性测试WAT测试设备建立远程连接，且WAT测试设备处于可控状态后，基于启动的探针卡操作流程从远程控制管理平台调用相应的服务及对应的服务接口，通过服务接口基于机台相机拍摄的图像生成自动操作脚本，并基于自动操作脚本通过WAT测试设备的执行机构控制探针卡执行相应的操作，对探针卡的操作进行检测，将检测结果反馈至远程控制管理平台，并在检测结果验证合格后执行后续WAT测试，通过上述方式，解决传统WAT测试中人工操作频繁、依赖专业技术人员的问题，提高了测试流程的启动以及测试效率，也确保了测试的准确性。
主权项：1.一种WAT测试中探针卡检测方法，其特征在于，所述WAT测试中探针卡检测方法包括：将远程控制管理平台与晶圆接受性测试WAT测试设备建立远程连接，并将所述WAT测试设备调整至可控状态；基于启动的探针卡操作流程从所述远程控制管理平台调用相应的服务以及对应的服务接口；获取所述WAT测试设备对应的机台相机拍摄的图像，通过所述服务接口基于所述机台相机拍摄的图像生成自动操作脚本，并基于所述自动操作脚本通过所述WAT测试设备的执行机构控制所述探针卡执行相应的操作；对所述探针卡的操作进行检测，将检测结果反馈至所述远程控制管理平台，并在检测结果验证合格后执行后续WAT测试。
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百度查询： 合肥喆塔科技有限公司 上海喆塔信息科技有限公司 WAT测试中探针卡检测方法、装置、设备及存储介质
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