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申请/专利权人：北京华卓精科科技股份有限公司
摘要：本申请涉及半导体制造技术领域，公开了一种遮光机构及晶圆盛放装置，遮光机构包括第一支撑件、遮光组件和联动件，第一支撑件具有第一支撑面，第一支撑面具有晶圆放置区；遮光组件包括多个遮光部件，多个遮光部件均可活动地设置于第一支撑面，且多个遮光部件环绕晶圆放置区依次排列，遮光组件具有对合姿态和张开姿态，联动件连接在多个遮光部件之间，多个遮光部件在联动件的作用下能够在第一支撑面上联动，以使遮光组件在对合姿态和张开姿态之间切换。遮光组件对于晶圆的遮挡精确度较高，提高了遮光部件对晶圆的遮挡效果，降低了激光对晶圆边缘损伤的可能。
主权项：1.一种遮光机构，其特征在于，包括：第一支撑件，所述第一支撑件的其中一个侧面为第一支撑面，所述第一支撑面具有晶圆放置区；遮光组件，包括多个遮光部件，所述多个遮光部件均可活动地设置于所述第一支撑面，且所述多个遮光部件环绕所述晶圆放置区依次排列，所述遮光组件具有对合姿态和张开姿态，在所述对合姿态，任意两相邻所述遮光部件对接，所述多个遮光部件对合并形成环形结构，在所述张开姿态，至少一组两相邻所述遮光部件间隔设置；联动件，连接在多个所述遮光部件之间，所述多个遮光部件在所述联动件的作用下能够在所述第一支撑面上联动，以使所述遮光组件在所述对合姿态和所述张开姿态之间切换。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京华卓精科科技股份有限公司 遮光机构及晶圆盛放装置
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