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具有选择性磷掺杂结构的太阳能电池及其制备方法 

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申请/专利权人:中环新能(安徽)先进电池制造有限公司

摘要:本申请涉及一种具有选择性磷掺杂结构的太阳能电池,包括:n型硅基;设置在n型硅基背表面的隧穿氧化层;设置在隧穿氧化层表面的磷掺杂多晶硅层,其中,磷掺杂多晶硅层表面划分为重掺杂区与轻掺杂区,重掺杂区的磷原子掺杂浓度高于轻掺杂区;设置在轻掺杂区表面的第一钝化层;设置在第一钝化层表面的第一减反射层;设置在重掺杂区表面的第一电极,其中,第一电极的一侧与重掺杂区欧姆接触,第一电极的另一侧凸出于第一减反射层的表面。本申请通过将磷掺杂多晶硅层表面划分为重掺杂区与轻掺杂区,无需对轻掺杂区和重掺杂区的掺杂浓度进行十分精细的控制,规避了多晶硅层的磷掺杂浓度控制不精细的技术问题。

主权项:1.一种具有选择性磷掺杂结构的太阳能电池,其特征在于,所述具有选择性磷掺杂结构的太阳能电池包括:n型硅基;设置在所述n型硅基背表面的隧穿氧化层;设置在所述隧穿氧化层表面的磷掺杂多晶硅层,其中,所述磷掺杂多晶硅层表面划分为重掺杂区与轻掺杂区,所述重掺杂区的磷原子掺杂浓度高于所述轻掺杂区;设置在所述轻掺杂区表面的第一钝化层;设置在所述第一钝化层表面的第一减反射层;设置在所述重掺杂区表面的第一电极,其中,所述第一电极的一侧与所述重掺杂区欧姆接触,所述第一电极的另一侧凸出于所述第一减反射层的表面。

全文数据:

权利要求:

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