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申请/专利权人：罗化芯显示科技开发(江苏)有限公司
摘要：本发明涉及一种Micro‑LED显示面板及其形成方法，涉及半导体显示技术领域。在本发明的Micro‑LED显示面板的形成方法中，通过在第二半导体层上形成第一透明导电层，并对所述第一透明导电层进行图案化处理，以形成多个平行排列的条形透明导电凸块，接着形成第二透明导电层，且设置第一透明导电层为镁和氟共掺杂的氧化锡，第二透明导电层为氧化铟锡，通过上述设置，可以大大提高电流的扩散性能，进而可以提高Micro‑LED单元的发光性能。
主权项：1.一种Micro-LED显示面板的形成方法，其特征在于：所述Micro-LED显示面板的形成方法包括以下步骤：提供一生长衬底，在所述生长衬底上外延生长第一半导体层、量子阱层以及第二半导体层；在所述第二半导体层上形成第一透明导电层，并对所述第一透明导电层进行图案化处理，以形成多个平行排列的条形透明导电凸块；接着形成第二透明导电层，所述第二透明导电层的材质与所述第一透明导电层的材质不同；在所述第二透明导电层上形成多个金属电极，以形成发光二极管晶圆；接着对所述发光二极管晶圆进行切割处理以形成多个Micro-LED单元，每个所述Micro-LED单元包括一个金属电极；接着将多个所述Micro-LED单元转移至载板上；接着在每个所述Micro-LED单元的侧面和顶面形成层叠的第一保护层、第二保护层以及第三保护层，且所述第二保护层中临近所述第一保护层的一侧的密度小于所述第二保护层的另一侧的密度，且两侧密度差为0.6-1.5gcm3，且所述第三保护层中临近所述第二保护层的一侧密度小于所述第三保护层的另一侧的密度，且两侧密度差为0.3-1.2gcm3；接着提供一驱动基板，利用转印装置将所述Micro-LED单元转移至所述驱动基板，使得所述Micro-LED单元的所述金属电极与所述驱动基板的布线电连接；接着形成封装层，然后对封装层以及每个所述Micro-LED单元的所述生长衬底进行研磨处理，以暴露每个所述Micro-LED单元的所述第一半导体层；接着形成第三透明导电层，所述第三透明导电层为公共电极，以形成Micro-LED显示面板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 罗化芯显示科技开发(江苏)有限公司 一种Micro-LED显示面板及其形成方法
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