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申请/专利权人：江苏福拉特自动化设备有限公司
摘要：本申请提供一种MicroOLED高精度掩模版宏观检查装置及其使用方法，属于掩模版质检设备技术领域，包括由框架与覆盖板拼接形成的长方体结构的检查暗室，覆盖板的顶部一侧设置有过滤组件，框架的内部下方设置有翻转组件，框架的内部上方位置设置有电气组件。上述方案中，通过设置伺服电机一、翻转架一、伺服电机二与翻转架二，丰富掩模版调整的姿态，翻转架一与翻转架二均可提供180°的调节范围，具有灵活的调节效果提高掩膜版宏观检查全面无死角。
主权项：1.一种MicroOLED高精度掩模版宏观检查装置，包括由框架（1）与覆盖板（2）拼接形成的长方体结构的检查暗室，其特征在于，所述覆盖板（2）的顶部一侧设置有过滤组件，所述框架（1）的内部下方设置有翻转组件，所述框架（1）的内部上方位置设置有电气组件；所述过滤组件包括安装于覆盖板（2）开口部位的风机（3），以及设置于所述风机（3）出风位置的过滤盒（301）；所述翻转组件包括安装于框架（1）内部右侧的机架（4），所述机架（4）的一侧固定连接有伺服电机一（401），所述伺服电机一（401）的输出端固定连接有翻转架一（402），所述翻转架一（402）的侧壁固定连接有伺服电机二（403），所述伺服电机二（403）的输出端固定连接有翻转架二（404）；所述翻转架二（404）的开口部位设置有滑轨（5），所述滑轨（5）的内部设置有可滑动的滑块（501），所述滑块（501）的顶部连接有电动推杆（502），所述电动推杆（502）的伸缩端固定连接有夹块（6），所述夹块（6）侧壁设置有三个连续的台阶；所述电气组件包括设置于框架（1）内部左上角的安装架（7），所述安装架（7）的底部固定连接有光源控制器（701），所述安装架（7）的侧壁设置有位于翻转架一（402）上方的光源一（702），所述光源一（702）的一侧设置有光源二（703）；所述框架（1）的竖直部位由挡板（101）覆盖，所述挡板（101）的右侧设置有控制屏幕（8），所述控制屏幕（8）的背面连接有光学检测相机（9）。
全文数据：
权利要求：
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