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申请/专利权人：嘉兴弘毅电子科技有限公司
摘要：本实用新型提出一种用于掩膜版制版的激光直写精密扫描台，其包括粗动支托组件、转接承载组件、微动支托组件、微动驱转组件、基板定位组件及位置反馈组件，该扫描台结合了粗动支托组件和微动支托组件，微动支托组件首先进行小行程的微调，当行程不足时，粗动支托组件进行大行程位置粗调，确保掩膜版基板可以在较大范围内快速定位，从而提高整体扫描精度，横向电机和纵向电机都采用音圈电机制作，可以实现对掩膜版基板位置的细微调整，转接承载组件通过承载滚珠和定位环圈实现微动支托组件在转接座体顶部的小行程微调，还通过定位环圈对承载滚珠的定位，确保微调过程的稳定性，有助于减少扫描过程中的振动和误差，从而提高扫描精度。
主权项：1.一种用于掩膜版制版的激光直写精密扫描台，其特征在于，包括：粗动支托组件，该粗动支托组件通过活动连接结构安装于机架中，可在机架中进行位置调节，其内部具有支托空间；转接承载组件，该转接承载组件通过固定连接结构安装于粗动支托组件中，可随粗动支托组件一同进行位置调节；微动支托组件，该微动支托组件通过活动连接结构安装于转接承载组件中，可随粗动支托组件一同进行位置调节，并可在转接承载组件中进行位置调节，其内部具有支托空间；微动驱转组件，该微动驱转组件安装于粗动支托组件中，并与微动支托组件接合，由微动驱转组件带动微动支托组件进行位置调节；基板定位组件，该基板定位组件安装于微动支托组件中，可随微动支托组件组件一同进行位置调节，其内部具有掩膜版基板定位空间，由基板定位组件对掩膜版基板进行定位；位置反馈组件，该位置反馈组件安装于微动支托组件中，可随微动支托组件一同进行位置调节，其与位置感测机构配合，位置感测机构可通过位置反馈组件对微动支托组件的位置数据进行获取。
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百度查询： 嘉兴弘毅电子科技有限公司 一种用于掩膜版制版的激光直写精密扫描台
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