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掩膜板张网制作方法及掩膜板 

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申请/专利权人:江苏高光半导体材料有限公司

摘要:本公开提供一种掩膜板张网制作方法及掩膜板。其中方法具体包括:提供框架、多个网面、至少一个加强金属条和多个延长金属条;形成框架预制件,形成网面预制件、张网以及拼接步骤,在张网和拼接步骤中,分别夹持并牵拉延长金属条、网面与框架的拼接端,以使网面张紧;并且保持张网状态,将网面与其他网面的拼接端固接于加强金属条,将网面与框架的拼接端固接于框架,相邻网面与同一个加强金属条固接,去除延长金属条。该方法可实现对网面的四周同步施加张力,可实现对掩膜板中的多段拼接网面的图案进行调节以达到设定的精度要求,从而提升产品的整体制作精度。

主权项:1.一种掩膜板张网制作方法,其特征在于,包括:提供框架11、多个网面21、至少一个加强金属条12和多个延长金属条22;形成框架预制件10,将所述加强金属条12张紧并横跨固接于所述框架11,所述加强金属条12设置于所述多个网面21在所述框架11上的预设拼接位置;形成网面预制件20,将一个或多个所述延长金属条22的一端固接于所述网面21与其他网面的拼接端,并使其另一端向远离所述网面21方向延伸;张网,分别夹持并牵拉所述延长金属条22、所述网面21与所述框架11的拼接端,以使所述网面21张紧;拼接,保持所述张网状态,将所述网面21与其他网面的拼接端固接于所述加强金属条12,将所述网面21与所述框架11的拼接端固接于所述框架11,其中,相邻网面与同一个所述加强金属条12固接;去除所述延长金属条22。

全文数据:

权利要求:

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