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申请/专利权人：杭州广立微电子股份有限公司
摘要：本实用新型涉及一种掩膜图形数据检测结构，其中，掩膜图形数据检测结构包括至少两个检测单元；检测单元设置有目标图层的检测项的原始图形数据，且检测单元之间相互独立；检测单元，用于基于目标图层的检测项的原始图形数据，对目标图层的掩膜图形数据中检测项进行检测。本实用新型针对JDV种后段各层需要检查的重要检测项，为每个检测项设计了对应的检测单元，并实现了在一个掩膜图形数据检测结构中可以检查多个目标图层、多个检测项，极大地简化了做后段JDV检测地流程，降低时间成本，提高效率。
主权项：1.一种掩膜图形数据检测结构，其特征在于，所述掩膜图形数据检测结构包括至少两个检测单元；所述检测单元设置有目标图层的检测项的原始图形数据，且所述检测单元之间相互独立；所述检测单元，用于基于目标图层的检测项的原始图形数据，对目标图层的掩膜图形数据中所述检测项进行检测。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 杭州广立微电子股份有限公司 一种掩膜图形数据检测结构及其测试芯片
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