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申请/专利权人：无锡超通智能制造技术研究院有限公司
摘要：本发明涉及掩模版加工技术领域，尤其是一种精细金属掩模版多功能加工设备及其加工方法。综合加工头包括平台清洁装置、激光切割装置、激光修复装置、测量装置以及研磨装置；安装座上安装有ESC静电自动张紧吸附平台，与激光切割装置配合，对FMM版的两端废料区耳料进行切割；多孔陶瓷悬空自动张紧吸附平台，安装在ESC静电自动张紧吸附平台上，与测量装置和研磨装置配合，对FMM版版面上的凸起进行检测和研磨；大幅面ESC静电吸附平台，与平台清洁装置和激光修复装置配合，对FMM版进行修复；综合加工头可实现多种修复功能；加工平台通过导轨组件相组合，自动适应相匹配修复工艺，张紧功能、ESC吸附，且可兼容目前所有规格型号尺寸等多功能综合性加工平台。
主权项：1.一种精细金属掩模版多功能加工设备，其特征在于：包括综合加工头（1）和加工平台（2），所述综合加工头（1）安装在移动装置上，综合加工头（1）安装在加工平台（2）的上方；所述综合加工头（1）包括平台清洁装置（10）、激光切割装置（11）、激光修复装置（12）、测量装置（13）以及研磨装置（14）；所述加工平台（2）包括安装座（20），所述安装座（20）上安装有ESC静电自动张紧吸附平台（21），用以承接FMM版，并张紧、悬空FMM版，与激光切割装置（11）配合，对FMM版的两端废料区耳料进行切割；多孔陶瓷悬空自动张紧吸附平台（22），安装在ESC静电自动张紧吸附平台（21）上，且与ESC静电自动张紧吸附平台（21）上下错位设置，用以承接FMM版，并张紧、悬空FMM版，与测量装置（13）和研磨装置（14）配合，对FMM版版面上的凸起进行检测和研磨；以及，大幅面ESC静电吸附平台（23），与平台清洁装置（10）和激光修复装置（12）配合，用以承接FMM版，并对FMM版进行修复；背光组件（24），用以放置于大幅面ESC静电吸附平台（23）中静电吸附平台磁浮动子（232）上，用以对静电吸附玻璃（236）进行整幅的照亮，进而观察FMM版上刻孔的形状。
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权利要求：
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