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申请/专利权人：珠海市龙图光罩科技有限公司
摘要：本申请公开了一种掩模版检测方法、装置、设备以及存储介质，本申请涉及半导体制造技术领域，所述掩模版检测方法包括：根据预设区域划分策略对掩模版进行检测区域划分，得到掩模版检测能量分布图；根据掩模版检测能量分布图确定检测设备的检测模式，并根据检测模式对掩模版进行检测。本申请能够提高掩模版检测的准确性和效率。
主权项：1.一种掩模版检测方法，其特征在于，所述掩模版检测方法包括：根据预设区域划分策略对掩模版进行检测区域划分，得到掩模版检测能量分布图；根据所述掩模版检测能量分布图确定检测设备的检测模式，并根据所述检测模式对掩模版进行检测。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 珠海市龙图光罩科技有限公司 掩模版检测方法、装置、设备以及存储介质
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