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申请/专利权人:机械工业仪器仪表综合技术经济研究所
摘要:本公开是一种多级纳米花状结构复合湿敏材料薄膜及其制备方法和应用。该制备方法包括:制备纳米花状结构PI;制备GOQDsNH2‑mSiO2纳米微球复合结构;利用纳米花状结构PI与GOQDsNH2‑mSiO2纳米微球复合结构制备多级纳米花状结构复合湿敏材料GOQDsNH2‑mSiO2PI;将多级纳米花状结构复合湿敏材料GOQDsNH2‑mSiO2PI分散在有机溶液中,均匀涂敷于晶圆表面,得到不同厚度的多级纳米花状结构复合湿敏材料薄膜。本公开通过复合纳米花状结构聚酰亚胺和氧化石墨烯量子点氨基化介孔二氧化硅纳米微球,协同调控水分子的吸附能力与吸脱附效率,显著提高了湿敏材料的灵敏性,减小了湿敏材料的湿滞效应。
主权项:1.一种多级纳米花状结构复合湿敏材料薄膜的制备方法,其特征在于,包括:制备纳米花状结构PI;制备GOQDsNH2-mSiO2纳米微球复合结构;利用纳米花状结构PI与GOQDsNH2-mSiO2纳米微球复合结构制备多级纳米花状结构复合湿敏材料GOQDsNH2-mSiO2PI;将多级纳米花状结构复合湿敏材料GOQDsNH2-mSiO2PI分散在有机溶液中,均匀涂敷于晶圆表面,得到不同厚度的多级纳米花状结构复合湿敏材料薄膜。
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