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申请/专利权人：中国科学院光电技术研究所

摘要：本发明提供一种差分相位中寄生倾斜误差的抑制装置和方法，装置包括：双频激光光源模块，包括：1064nm激光器、隔离器、第一分光棱镜、第一声光调制器、第二声光调制器、第一楔形片、第二楔形片；光路干涉模块，包括：第一光阑、第二光阑、第一线偏振片、第二线偏振片、压电快反镜、反射棱镜、第二分光棱镜；精密测控模块，包括：四象限探测器、锁相计、控制器；数据处理模块，位于锁相计与控制器之间，用于执行数据处理，从而抑制差分相位中寄生倾斜误差。根据本发明，使DWS技术拓展到两个光束未对准时的光束夹角测量，以及倾斜传播模式下的光斑横向偏移测量，广泛地适用于基于DWS技术的光学精密测量系统。

主权项：1.一种差分相位中寄生倾斜误差的抑制装置，其特征在于，该装置包括：双频激光光源模块、光路干涉模块、以及精密测控模块，其中，双频激光光源模块包括：1064nm激光器（101）、隔离器（102）、第一分光棱镜（103）、第一声光调制器（1001）、第二声光调制器（2001）、第一楔形片（1002）、第二楔形片（2002）；光路干涉模块包括：第一光阑（1003）、第二光阑（2003）、第一线偏振片（1004）、第二线偏振片（2004）、压电快反镜（110）、反射棱镜（104）、第二分光棱镜（105）；精密测控模块包括：四象限探测器（106）、锁相计（107）、数据处理模块（108）、控制器（109）；其中，1064nm激光器（101）产生一路稳定光信号通过隔离器（102）后经过第一分光棱镜（103）分为两个支路，第一支路的光信号首先通过第一声光调制器（1001），发生布拉格衍射效应对激光进行频率调制；接着，经过第一楔形片（1002）以校正由第一声光调制器（1001）频移所导致的激光倾斜偏摆；继续通过第一光阑（1003），在第一光阑（1003）处声光调制的一级布拉格衍射光被选择，其他级的布拉格衍射光和杂散光被隔离；接着经过第一线偏振片（1004）以特定的偏振方向传输至反射棱镜（104）成为干涉光信号的一路输入，以同样的方式第二支路的光信号依次通过第二声光调制器（2002）、第二楔形片（2002）、第二光阑（2003）、第二线偏振片（2004）和压电快反镜（110），成为干涉光信号的另一路输入，之后输出的两个支路的光信号先经过第二分光棱镜（105）发生干涉，再传输至四象限探测器（106），四象限探测器（106）输出四路拍频电信号，四象限探测器（106）通过射频连接线与锁相计（107）相连，锁相计（107）输出四路相位信号，通过数据处理模块（108）计算差分相位值，控制器（109）用于根据数据处理模块（108）输出的差分相位控制压电快反镜的偏转或平移；数据处理模块（108）用于通过后处理减法，实现基于DWS技术的两个光束未对准时的激光束夹角测量，以及倾斜传播模式下的光斑横向偏移测量。

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