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申请/专利权人：株式会社小金井
摘要：将收容于液体罐11的液体供给至涂敷工具13的液体供给装置10具有设置于液体供给路径12的第一泵21和第二泵22，朝向涂敷工具13流动的液体由过滤器14过滤。设置有使通过了过滤器14的液体返回液体罐11的返回流路15，在第一泵21与第二泵22之间设置有流路开闭阀23，切换为向涂敷工具13供给液体且停止液体向返回流路15的供给的涂敷模式与向返回流路15供给液体且停止液体向涂敷工具13的供给的循环模式中的任一个。
主权项：1.一种液体供给装置，是对向被涂敷物涂敷液体的涂敷工具供给液体收容部所收容的液体的液体供给装置，所述液体供给装置具有：第一泵以及第二泵，分别设置于液体供给路径，所述液体供给路径将收容于所述液体收容部的液体供给至所述涂敷工具；过滤器，对朝向所述涂敷工具流动的液体进行过滤；返回流路，使通过了所述过滤器的液体返回所述液体收容部；流路开闭阀，设置于所述第一泵与所述第二泵之间，且切换为切断所述第一泵与所述第二泵的连通的关闭状态和使所述第一泵与所述第二泵连通的打开状态中的任一个；以及控制部，切换为向所述涂敷工具供给液体且停止液体向所述返回流路的供给的涂敷模式与向所述返回流路供给液体且停止液体向所述涂敷工具的供给的循环模式中的任一个，在所述涂敷模式下，所述第一泵与所述第二泵的一者向被涂敷物排出液体，在所述循环模式下，所述第一泵与所述第二泵的一者通过向所述返回流路排出液体而连续流出返回流量的液体。
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