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申请/专利权人：杭州福斯特电子材料有限公司
摘要：一种干膜抗蚀剂、感光干膜和覆铜板。该干膜抗蚀剂包括A碱可溶性树脂、B光聚合单体、C光引发剂和D增感剂，D增感剂包括含有吡唑啉结构的化合物。干膜抗蚀剂由于采用了特定种类的增感剂，因而具有良好的综合性能，尤其是光敏性、分辨率、对位识别适应性以及耐电镀性方面表现突出。
主权项：一种干膜抗蚀剂，其特征在于，包括A碱可溶性树脂、B光聚合单体、C光引发剂和D增感剂，所述D增感剂包括含有吡唑啉结构的化合物。
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百度查询： 杭州福斯特电子材料有限公司 干膜抗蚀剂、感光干膜和覆铜板
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