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申请/专利权人：乐金显示有限公司
摘要：薄膜晶体管阵列基板及其制造方法和数字X射线探测器装置。提供了一种能够使PIN二极管的泄漏电流最小化的用于数字X射线探测器装置的薄膜晶体管阵列基板和数字X射线探测器装置及其制造方法。泄漏电流阻挡层被形成为覆盖并接触PIN二极管的PIN层的侧表面，以阻止PIN层和绝缘层之间的接触，从而使PIN二极管的泄漏电流的产生最小化。此外，根据本公开，PIN二极管的泄漏电流的产生被最小化以提高读出线的检测功率，从而改善诸如检测量子效率DQE和信噪比SNR这样的特性并且改善数字X射线探测器装置的图像质量。
主权项：1.一种用于数字X射线探测器装置的薄膜晶体管阵列基板，该薄膜晶体管阵列基板包括：基底基板；驱动薄膜晶体管，该驱动薄膜晶体管设置在所述基底基板上方；P型半导体-本征型半导体-N型半导体PIN二极管，该PIN二极管被构造为连接到所述驱动薄膜晶体管，所述PIN二极管包括下电极、PIN层和上电极；以及至少一个泄漏电流阻挡层，所述至少一个泄漏电流阻挡层被构造为覆盖所述PIN层的侧表面并且与所述PIN层接触，其中，所述至少一个泄漏电流阻挡层包括金属。
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