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申请/专利权人：株式会社三丰

摘要：一种用于扫描探头中的探针位置测量的感应位置检测器，包括沿着探头中的中心轴线定位的线圈板配置。线圈板配置包括围绕线圈板配置中的孔的场产生线圈配置、顶部轴向感测线圈配置和底部轴向感测线圈配置以及N个顶部旋转感测线圈和N个底部旋转感测线圈。一种探针联接的扰动器配置包括圆柱形扰动器元件，其配置为在线圈板配置的孔内移动和装配，并且在运动体积中沿着Z轴向和X‑Y旋转方向移动。场产生线圈配置产生变化的磁通量例如包含圆柱形扰动器元件的全部或至少一部分，并且线圈信号指示圆柱形扰动器元件和或探针位置。

主权项：1.一种用于坐标测量机的扫描探头，该扫描探头包括：联接到扫描探头的框架的探针悬置部分，包括：探针联接部分，其配置为刚性地联接到探针；以及探针运动机构，其配置为使探针联接部分能够沿轴向方向轴向运动，并且使探针联接部分能够绕旋转中心旋转运动；以及沿着中心轴线布置的探针位置检测部分，所述中心轴线平行于轴向方向且名义上与旋转中心对齐，探针位置检测部分包括：线圈板配置，其以固定关系安装到扫描探头的框架，该线圈板配置包括：场产生线圈配置，其围绕线圈板配置中的孔；顶部轴向感测线圈配置和底部轴向感测线圈配置；N个顶部旋转感测线圈和N个底部旋转感测线圈，其中N是大于3的整数；以及扰动器配置，其包括圆柱形扰动器元件，该圆柱形扰动器元件配置为在线圈板配置的孔内移动和装配，该圆柱形扰动器元件由提供扰动器区域的导电圆柱体构成，其中圆柱形扰动器元件沿着中心轴线位于扰动器运动体积中，并且圆柱形扰动器元件通过联接配置联接到探针悬置部分，其中响应于探针悬置部分的偏转，圆柱形扰动器元件在扰动器运动体积中相对于未偏转位置移动，响应于轴向运动，圆柱形扰动器元件在沿着轴向方向的操作运动范围+-Rz上移动，并且响应于旋转运动，在沿着正交于轴向方向的正交X和Y方向的相应操作运动范围+-Rx和+-Ry上运动，所述场产生线圈配置响应于线圈驱动信号在扰动器运动体积中产生大致沿轴向方向变化的磁通量；以及信号处理和控制电路，其可操作地连接到探针位置检测部分的线圈，以提供线圈驱动信号，并配置为输入来自线圈板配置的信号，该信号包括由线圈板配置的相应旋转和轴向感测线圈提供的相应信号分量，并输出指示圆柱形扰动器元件或探针相对于扫描探头的框架的轴向位置和旋转位置的信号。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 株式会社三丰 用于指示测量装置探针位置的感应位置检测配置