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申请/专利权人：宜宾英发德耀科技有限公司
摘要：本发明涉及半导体设备技术领域，提出了一种循环利用制绒剂的制绒方法。一种循环利用制绒剂的制绒方法，包括如下步骤：将制绒剂放入反应器主槽内，将硅片放入主槽内，每批硅片在主槽内制绒处理后再取出，制绒期间无篮鼓泡、一直溢流，溢流的制绒剂流入副槽，再从副槽补入主槽内循环使用；在1批～100批硅片制绒过程中，制绒剂补入主槽的循环速度为78Lmin～82Lmin；在101批～200批硅片制绒过程中，制绒剂补入主槽的循环速度为85Lmin～90Lmin；在201批～250批硅片制绒过程中，制绒剂补入主槽的循环速度为92Lmin～98Lmin。本发明解决了硅片金字塔稳定性差、外观异常和解决制绒剂使用寿命短、成本高的问题。
主权项：1.一种循环利用制绒剂的制绒方法，其特征在于，包括如下步骤：将制绒剂放入反应器主槽内，将硅片放入主槽内，每批硅片在主槽内制绒处理后再取出，制绒期间无篮鼓泡、一直溢流，溢流的制绒剂流入副槽，再从副槽补入主槽内循环使用；在1批～100批硅片制绒过程中，制绒剂补入主槽的循环速度为78Lmin～82Lmin；在101批～200批硅片制绒过程中，制绒剂补入主槽的循环速度为85Lmin～90Lmin；在201批～250批硅片制绒过程中，制绒剂补入主槽的循环速度为92Lmin～98Lmin。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宜宾英发德耀科技有限公司 一种循环利用制绒剂的制绒方法
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