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申请/专利权人：罗伯特·博世有限公司
摘要：本发明涉及一种MEMS传感器，所述MEMS传感器包括：可偏移地布置的功能层；用于将所述功能层的偏移转换为电信号的转换装置，其中，所述转换装置包括至少一个电元件，其中，所述至少一个电元件与第一区域至少部分地电连接，其中，所述第一区域与第二区域至少部分地电连接，其中，第一和第二区域和或第一区域和所述至少一个电元件能够在截止方向和导通方向上电运行；以及控制装置，其中，所述控制装置构造为使所述至少一个电元件和所述第一区域和或所述第一区域和所述第二区域在导通方向上至少部分地为提供热能而运行。
主权项：1.一种MEMS传感器1，所述MEMS传感器包括：可偏移地布置的功能层3，其中，所述可偏移地布置的功能层3布置在第一区域10中，用于将所述功能层3的偏移转换为电信号的转换装置2，其中，所述转换装置2包括至少一个电元件9，其中，所述转换装置2包括具有呈电阻9形式的至少四个电元件的惠斯通电桥电路，其中，所述至少四个电元件9布置在所述第一区域10中，其中，所述至少一个电元件9与所述第一区域10至少部分地电连接，其中，所述第一区域10与第二区域11至少部分地电连接，其中，第一和第二区域10，11和或第一区域10和所述至少一个电元件9能够在截止方向和导通方向上电运行，以及控制装置5，其中，所述控制装置5构造为使所述至少一个电元件9和所述第一区域10和或所述第一区域10和所述第二区域11在导通方向上至少部分地为提供热能而运行。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 罗伯特·博世有限公司 MEMS传感器以及用于运行MEMS传感器的方法
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