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申请/专利权人：麦斯塔微电子(深圳)有限公司
摘要：本申请提供一种MEMS谐振器，包括衬底、振动体以及外电极；振动体设置于衬底上，振动体包括耦合梁以及振臂，耦合梁的两端分别与相邻的振臂连接，振臂包括第一分臂以及与第一分臂两侧连接的第二分臂，第一分臂位于振臂靠近耦合梁的一侧，第二分臂位于振臂远离耦合梁的一侧；外电极设置于衬底上，外电极包括第一电极以及与第一电极间隔设置的第二电极，第一电极以及第二电极位于第二分臂远离耦合梁的一侧，以提高MEMS谐振器的刚度。
主权项：1.一种MEMS谐振器，其特征在于，包括：衬底；振动体，设置于所述衬底上，所述振动体包括耦合梁以及振臂，所述耦合梁的两端分别与相邻的所述振臂连接，所述振臂包括第一分臂以及与所述第一分臂两侧连接的第二分臂，所述第一分臂位于所述振臂靠近所述耦合梁的一侧，所述第二分臂位于所述振臂远离所述耦合梁的一侧；外电极，设置于所述衬底上，所述外电极包括第一电极以及与所述第一电极间隔设置的第二电极，所述第一电极以及所述第二电极位于所述第二分臂远离所述耦合梁的一侧。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 麦斯塔微电子(深圳)有限公司 MEMS谐振器
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