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申请/专利权人：北京奥普托科微电子技术有限公司
摘要：本实用新型提供了一种对准机构以及半导体检测设备，对准机构包括晶圆承载盘、片叉、对准组件以及检测组件，检测组件朝向晶圆承载盘成像；对准组件包括透光件以及对准工装，透光件晶圆承载盘相对固定设置，对准工装设置在片叉上且设有第一对准标记，透光件上设有第二对准标记；透光件设置于检测相机的成像光路中，检测组件对第一对准标记与第二对准标记成像以确定片叉是否与晶圆承载盘对准。本实用新型提供的对准机构无需目视，并且可以结合其他结构实现自动化对准，同时也能提高对准的效率。
主权项：1.一种对准机构，其特征在于，包括晶圆承载盘200、片叉400、对准组件300以及检测组件100，所述检测组件100朝向所述晶圆承载盘200成像；所述对准组件300包括透光件320以及对准工装310，所述对准工装310设置在所述片叉400上且设有第一对准标记310A，所述透光件320上设有第二对准标记320A；所述透光件320设置于检测相机130的成像光路中且相对所述晶圆承载盘200固定设置，所述检测组件100对所述第一对准标记310A与所述第二对准标记320A成像以确定所述片叉400是否与所述晶圆承载盘200对准。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京奥普托科微电子技术有限公司 对准机构以及半导体检测设备
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