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申请/专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
摘要：本实用新型公开一种烘干结构和烘干系统，涉及清洗设备。烘干结构包括：依次相互连通设置的进气组件、均匀气体分流结构、硅片花篮组件和出气组件；所述均匀气体分流结构设置于所述进气组件内，所述均匀气体分流结构用于对从所述进气组件进入的气体进行均匀的导流传输至所述硅片花篮组件，可以将气体进行重新分配，极大程度的提升了烘干槽底部的流速，可以有效增加烘干效果较差区域的气体流动速度，从而可以有效的提升烘干结构的整体烘干效率，以供所述气体对所述硅片花篮组件中装载的待烘干硅片进行烘干，所述气体通过所述出气组件排出，通过均匀气体分流结构对气体的内部流场进行彻底改变，极大程度的提升烘干结构的烘干效率，节省烘干时间。
主权项：1.一种烘干结构，其特征在于，包括：依次相互连通设置的进气组件、均匀气体分流结构、硅片花篮组件和出气组件；所述均匀气体分流结构设置于所述进气组件内，所述均匀气体分流结构用于对从所述进气组件进入的气体进行均匀的导流传输至所述硅片花篮组件，以供所述气体对所述硅片花篮组件中装载的待烘干硅片进行烘干，所述气体通过所述出气组件排出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 隆基绿能科技股份有限公司 一种烘干结构和烘干系统
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