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申请/专利权人：北京仝志伟业科技有限公司
摘要：本实用新型涉及真空封装技术领域，一种包括真空腔框架、至少一个加热载台、真空腔门、气体管和定量充气系统；所述真空腔框架内设置多层承载板，所述加热载台设置在所述承载板上，所述真空腔门对所述真空腔框架进行密封，所述气体管设置在所述真空腔框架内部，所述气体管连接所述定量充气系统。控制了高真空共晶炉的甲酸氮气的含量，提高了产品制造质量。控制了高真空共晶炉的甲酸氮气的浓度，节省了甲酸氮气的用量。
主权项：1.一种高真空共晶炉，其特征在于，包括真空腔框架、至少一个加热载台、真空腔门、气体管和定量充气系统；所述真空腔框架内设置多层承载板，所述加热载台设置在所述承载板上，所述真空腔门对所述真空腔框架进行密封，所述气体管设置在所述真空腔框架内部，所述气体管连接所述定量充气系统；所述定量充气系统包括玻璃杯框架、玻璃杯、传感器固定结构、上液位传感器、下液位传感器、进气管、液体进口和出气管；所述玻璃杯设置在所述玻璃杯框架的内部，所述传感器固定结构设置在所述玻璃杯边侧，所述传感器固定结构下部固定在所述玻璃杯框架下部，所述上液位传感器设置在所述传感器固定结构的上部，所述下液位传感器设置在所述传感器固定结构的下部，所述进气管、所述液体进口和所述出气管设置在所述玻璃杯框架的上部，所述出气管连接所述气体管；所述加热载台包括石墨板、加热管和冷却管，所述石墨板为方形并拼合而成，相邻石墨板之间设有板固定部件，所述冷却管设置在所述石墨板的下方，所述加热管设置在所述石墨板的下方。
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权利要求：
百度查询： 北京仝志伟业科技有限公司 一种高真空共晶炉
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