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遮挡件及蒸镀设备 

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申请/专利权人:宁德时代新能源科技股份有限公司

摘要:本申请实施例提供了一种遮挡件及蒸镀设备,遮挡件用于分隔基材和蒸镀装置,遮挡件包括隔热层和加热层,加热层与隔热层层叠设置,且加热层设置于隔热层面向蒸镀装置的一侧。通过将加热层设置于隔热层面向蒸镀装置的一侧,在加热层加热时,隔热层能够隔绝加热层的热量,降低加热层的加热和蒸镀装置的蒸发高温对基材的影响。通过将加热层设置于面向蒸镀装置的一侧,在蒸镀装置蒸发膜料时,膜料蒸发向基材上附着,遮挡件的加热层加热,使得膜料不容易在遮挡件上冷凝,从而减少了由于膜料附着在遮挡件上造成的膜料损耗,降低了蒸镀加工的成本。

主权项:1.一种遮挡件,用于分隔基材和蒸镀装置,其特征在于,所述遮挡件包括隔热层和加热层,所述加热层与所述隔热层层叠设置,且所述加热层设置于所述隔热层面向所述蒸镀装置的一侧。

全文数据:

权利要求:

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