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申请/专利权人：磐石创新(江苏)电子装备有限公司
摘要：本实用新型公开一种硅晶圆片清洗槽管道式快速排液装置，包括设置在清洗槽底部的槽底支座法兰管，所述槽底支座法兰管的下部连接有内锥形外管支座，所述内锥形外管支座的下部连接有气缸安装座，所述气缸安装座上设有耐腐蚀双作用气缸，所述耐腐蚀双作用气缸活塞杆的上端设有用于封堵内锥形外管支座上端口的封堵件，所述气缸安装座的下端通过排水支座法兰连接有排水管。本实用新型与现有技术相比的优点在于：该装置无需大直径的阀体，减少了成本，且体积小巧，能够适应各种工艺要求。此外，装置的工作原理简单，操作方便，能够高效地完成清洗药液的回收排放任务，提高了清洗工艺的效率和稳定性，避免了半导体材料被腐蚀的不均匀现象。
主权项：1.一种硅晶圆片清洗槽管道式快速排液装置，其特征在于，包括设置在清洗槽12底部的槽底支座法兰管1，所述槽底支座法兰管1的下部连接有内锥形外管支座2，所述内锥形外管支座2的下部连接有气缸安装座4，所述气缸安装座4上设有耐腐蚀双作用气缸3，所述耐腐蚀双作用气缸3活塞杆的上端设有用于封堵内锥形外管支座2上端口的封堵件，所述气缸安装座4的下端通过排水支座法兰5连接有排水管11。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 磐石创新(江苏)电子装备有限公司 一种硅晶圆片清洗槽管道式快速排液装置
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