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申请/专利权人：苏州太阳井新能源有限公司
摘要：本实用新型提供一种接近式曝光机，通过第一测量装置先测量出掩模版至承载台各处的垂直距离，确定承载台与掩模版在平行度上的偏差，通过平面度调平模组调整承载台的平面度，并以此时承载台的平面度为基准，放置待曝光件，通过第二测量装置测量出待曝光件各处的厚度，继续调整承载台的平面度，以使待曝光件的待曝光面与掩模版平行，便于对待曝光面精准进行曝光处理；还可通过可沿上下方向移动的调平装置，快速拆卸与安装掩模版；相比于现有的近距离调整承载台平面度，本实用新型可以快速调整，并对待曝光件进行曝光处理，有效提高曝光精度和曝光效率，改善产品良率；同时，全自动化曝光减少了人力物力，进而降低了曝光生产成本。
主权项：1.一种接近式曝光机，其特征在于，所述接近式曝光机包括被配置为对待曝光件进行曝光处理的曝光装置，所述曝光装置的下表面设置有掩模版，所述接近式曝光机还包括：调平装置，所述调平装置间隔设置于所述曝光装置的下方，并沿水平的第一方向传输待曝光件，所述调平装置可沿上下方向靠近或远离所述曝光装置，所述调平装置包括承载台及平面度调平模组，所述承载台被配置为承载所述待曝光件，所述平面度调平模组设置于所述承载台下方，被配置为调整所述承载台上表面的平面度；第一测量装置，所述第一测量装置设置于所述掩模版的旁侧，所述第一测量装置的工作端与所述掩模版的下表面在同一水平面，所述第一测量装置被配置为测量所述掩模版下表面至所述承载台上表面的垂直距离；第二测量装置，所述第二测量装置沿水平的所述第一方向设置于所述曝光装置的上游，所述第二测量装置被配置为测量放置于所述承载台上的所述待曝光件的厚度。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州太阳井新能源有限公司 接近式曝光机
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