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申请/专利权人：深圳市东晖精密科技有限公司
摘要：本实用新型涉及一种LDI曝光机，属于曝光机领域，包括有底座，所述底座上固接有龙门架，所述龙门架上设置有横向滑轨，所述横向滑轨上滑动设置有第一相机组、第二相机组和曝光机构，所述曝光机构位于所述第一相机组和第二相机组之间；所述底座上设置有若干纵向运动机构，所述纵向运动机构的运动方向与所述横向滑轨垂直且相错，所述纵向运动机构上均设置有运动平台。本实用新型的有益效果是：将第一相机组、第二相机组和曝光机构集成在同一个横向滑轨上，减少冗余结构和整体尺寸，节约成本，并且通过同一个横向滑轨运动，提高了第一相机组、第二相机组和曝光机构的运动精度，提高了生产质量。
主权项：1.一种LDI曝光机，其特征在于，包括有底座1，所述底座1上固接有龙门架2，所述龙门架2上设置有横向滑轨3，所述横向滑轨3上滑动设置有第一相机组4、第二相机组5和曝光机构6，所述曝光机构6位于所述第一相机组4和第二相机组5之间；所述底座1上设置有若干纵向运动机构，所述纵向运动机构的运动方向与所述横向滑轨3垂直且相错，所述纵向运动机构上均设置有运动平台7。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市东晖精密科技有限公司 一种LDI曝光机
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