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申请/专利权人：宁波江丰芯创科技有限公司
摘要：本发明提供了一种气体分配盘多阶组合孔的制备方法及气体分配盘，所述的制备方法包括：Ⅰ提供原料坯，所述原料坯具有相对的第一端面与第二端面；Ⅱ采用标准铣刀去除第一端面的多余量，并进行啄钻处理，形成第一台阶槽；Ⅲ对所述第一台阶槽的底部表面进行钻孔处理，形成第二台阶槽，得到多阶组合孔；所述第一台阶槽与第二台阶槽同轴；所述多阶组合孔的孔径由第一端面向第二端面的方向依次减小。本发明利用啄钻和一钻到底两种工艺的配合，实现具有不同直径的组合台阶平底孔的加工，提高了组合孔质量。
主权项：1.一种气体分配盘多阶组合孔的制备方法，其特征在于，所述的制备方法包括：Ⅰ提供原料坯，所述原料坯具有相对的第一端面与第二端面；Ⅱ采用标准铣刀去除第一端面的多余量，并进行啄钻处理，形成第一台阶槽；Ⅲ对所述第一台阶槽的底部表面进行钻孔处理，形成第二台阶槽，得到多阶组合孔；所述第一台阶槽与第二台阶槽同轴；所述多阶组合孔的孔径由第一端面向第二端面的方向依次减小。
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