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申请/专利权人：中国科学院上海光学精密机械研究所

摘要：本发明公开了一种评估激光光学元件安全运行通量和筛选元件的方法，该方法包括三步测试，分别达到确定激光光学元件无损伤激光通量、排除缺陷损伤影响和筛选合格样品，以及验证长期稳定性的目的，从而确保激光光学元件在高功率激光系统中的高可靠性。第一步测试通过逐步扫描测试，确定光学元件的无损伤激光通量Fun；第二步测试以无损伤激光通量Fun对光学元件进行多次全口径扫描，排除原生缺陷损伤和累积效应影响，获得合格样品；第三步测试利用多脉冲对合格的激光光学元件进行稳定性验证。与现有的激光损伤测试方法相比，该方法可有效评估高性能要求激光系统中激光光学元件的抗激光损伤能力，确定安全运行通量，筛选出高可靠性激光光学元件。

主权项：1.一种评估激光光学元件安全运行通量和筛选元件的方法，其特征在于，该方法包括如下步骤：步骤1.确定无损伤激光通量Fun：1.1选择样品：在同一批次的激光光学元件中任选一个作为样品1；1.2设置激光参数：根据激光系统的工作激光通量，设置激光光束的初始能量密度F0和每次增加的能量密度Fs；1.3逐步扫描测试：使激光光束以初始能量密度F0对样品1上的待测区域进行第一次扫描，每次扫描后，激光光束的能量密度增加Fs，继续扫描，直至样品1测试区域内出现损伤；1.4记录与比较：记录测试区域内出现损伤的扫描次数N，并计算第N-1次扫描的激光能量密度F0+N-2Fs，作为该测试区域的未损伤激光通量；比较样品1上所有测试区域的未损伤激光通量，选择最低的未损伤激光通量作为样品1的无损伤激光通量及该批次激光光学元件的无损伤激光通量Fun；步骤2.筛选元件：2.1全口径扫描：利用无损伤激光通量Fun作为激光光束的能量密度，对同一批次余下的所有激光光学元件进行n次全口径扫描；2.2损伤判定：在扫描过程中，若激光光学元件出现损伤，则认定该样品不合格，否则，认定该样品合格，即激光光学元件的均匀性合格，并进入步骤3；步骤3.长期稳定性验证：3.1选择样品：从所述步骤2中合格的激光光学元件中任选一件作为样品2；3.2S-on-1测试：对样品2上的多个测试点作不同脉冲数的S-on-1测试，每种脉冲数至少选择多个测试点进行测试，获得该脉冲数下的零概率损伤阈值；3.3统计与拟合：统计不同脉冲数下的零概率损伤阈值，并绘制激光损伤阈值曲线，通过拟合该激光损伤阈值曲线，外推出更大脉冲数下的激光损伤阈值Fth；3.4确定安全运行通量Fsafe：比较无损伤激光通量Fun和激光损伤阈值Fth，选择其中低值作为激光光学元件在长期辐照下的安全运行通量Fsafe。

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权利要求：

百度查询： 中国科学院上海光学精密机械研究所 一种评估激光光学元件安全运行通量和筛选元件的方法