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申请/专利权人：梯欧开机器人(苏州)有限公司
摘要：本申请提供了一种气浮定梁平台，涉及晶圆加工设备领域。其包括底座和横梁，所述底座上平行设置有一个气浮导轨和一对无铁芯直线电机，一个所述无铁芯直线电机设于所述气浮导轨的一侧，另一个所述无铁芯直线电机设于所述气浮导轨的另一侧，所述横梁上设有直线导轨，所述直线导轨的滑台上设有切割设备；所述气浮导轨上设有载物机构，所述载物机构包括基座、转台和陶瓷盘，所述转台设于所述基座上并用于驱动所述陶瓷盘转动，所述陶瓷盘的底部设有抽气管，所述抽气管与真空发生器连通并在所述陶瓷盘的顶部产生负压，待切槽的晶圆吸附在所述陶瓷盘的顶部。本申请具有通过提高对晶圆的驱动精度的方式来提高对晶圆切槽精度的效果。
主权项：1.气浮定梁平台，其特征在于，包括底座1和横梁2，所述底座1上平行设置有一个气浮导轨11和一对无铁芯直线电机12，一个所述无铁芯直线电机12设于所述气浮导轨11的一侧，另一个所述无铁芯直线电机12设于所述气浮导轨11的另一侧，所述横梁2上设有直线导轨21，所述直线导轨21的滑台上设有切割设备22；所述气浮导轨11上设有载物机构3，所述载物机构3包括基座31、转台32和陶瓷盘33，所述转台32设于所述基座31上并用于驱动所述陶瓷盘33转动，所述陶瓷盘33的底部设有抽气管34，所述抽气管34与真空发生器连通并在所述陶瓷盘33的顶部产生负压，待切槽的晶圆吸附在所述陶瓷盘33的顶部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 梯欧开机器人(苏州)有限公司 气浮定梁平台
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