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申请/专利权人：上海中欣晶圆半导体科技有限公司
摘要：本发明涉及半导体研磨技术领域，具体地说，涉及一种预防定盘掉落砸伤人的安全装置，包括设置在下定盘外围的导轨以及挡板；所述挡板可滑动地与所述导轨相连接；所述导轨上具有一防护区域；于所述挡板移动至所述防护区域中时，能够避免外界事物进入到上定盘与所述下定盘之间。本申请中，当挡板在导轨上通过滑动移动至防护区域中时，该挡板能够将上定盘与下定盘之间的空间与外界相隔离，从而避免外界事物进入到上定盘与下定盘之间，从而提高安全性。
主权项：1.一种预防定盘掉落砸伤人的安全装置，其特征在于：包括设置在下定盘外围的导轨以及挡板；所述挡板可滑动地与所述导轨相连接；所述导轨上具有一防护区域；于所述挡板移动至所述防护区域中时，能够避免外界事物进入到上定盘与所述下定盘之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海中欣晶圆半导体科技有限公司 一种预防定盘掉落砸伤人的安全装置
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