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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：一种用于衬底处理系统的双充气腔喷头包括基部和背板。基部包括面向衬底的第一表面、与第一表面相对的第二表面、以及延伸于第一表面与第二表面之间的侧壁。第一表面和第二表面是平坦的。第一表面和第二表面以及侧壁限定第一充气腔。背板包括从背板的中心部延伸到背板的周边的成形表面。成形表面包括多个部分。这些部分中的至少一者平行于基部。这些部分中的至少一者向基部倾斜。背板的周边附接至基部的第二表面，从而限定第二充气腔。
主权项：1.一种用于衬底处理系统的双充气腔喷头，其包括：基部，其包括面向衬底的第一表面、与所述第一表面相对的第二表面、以及在所述第一表面和所述第二表面之间延伸的侧壁，所述第一表面和所述第二表面是平坦的，且所述第一表面和所述第二表面以及所述侧壁限定第一充气腔；以及背板，其包括从所述背板的中心部延伸到所述背板的周边的成形表面，所述成形表面包括多个部分，所述多个部分中的至少一者平行于所述基部，且所述多个部分中的至少一者向所述基部倾斜，所述背板的所述周边附接至所述基部的所述第二表面，从而限定第二充气腔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 用于衬底处理系统的喷头
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