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申请/专利权人：歌尔微电子股份有限公司
摘要：本申请公开了一种振动传感器、振动传感器的灵敏度校准方法及电子设备。该振动传感器具有第一腔室和第二腔室；振动传感器包括拾振单元及传感器单元，传感器单元包括第一气压感应件及第二气压感应件；第一气压感应件的一侧与第一腔室连通、另一侧与第二腔室连通；第二气压感应件的一侧暴露于真空环境、另一侧与第一腔室或者第二腔室连通；拾振单元响应于外部振动产生位移，第一腔室响应于位移产生气压差，第一气压感应件响应于气压差产生气压差信号，第二气压感应件被配置为对气压差信号进行校准。
主权项：1.一种振动传感器，其特征在于，所述振动传感器具有第一腔室101和第二腔室102；所述振动传感器包括：拾振单元11；传感器单元12，所述传感器单元12包括第一气压感应件103及第二气压感应件104；所述第一气压感应件103的一侧与所述第一腔室101连通、另一侧与所述第二腔室102连通；所述第二气压感应件104的一侧暴露于真空环境、另一侧与所述第一腔室101或者所述第二腔室102连通；所述拾振单元11响应于外部振动产生位移，所述第一腔室101响应于所述位移产生气压差，所述第一气压感应件103响应于所述气压差产生气压差信号，所述第二气压感应件104被配置为对所述气压差信号进行校准。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 歌尔微电子股份有限公司 振动传感器、振动传感器的灵敏度校准方法及电子设备
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