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申请/专利权人：无锡国芯微高新技术有限公司
摘要：本申请公开MEMS传感器自校准系统和自校准方法，涉及传感器检测领域，系统的激励信号模块连接MCU，根据控制信号输出激励信号并送入至传感器内部，改变传感器内部梳齿电容的电容值；MCU采集传感器的信号值并进行信号矫正输出；MCU获取各激励信号在对应梳齿电容值下输出的校准数据，并与激励信号作用下的实际信号值进行线性度比较，计算并更新传感器的自检增益；在正常工作模式下，MCU获取传感器的实测信号值，基于更新后自检增益计算输出校准信号值。该系统可以实现传感器工作过程中自动进行性能评估与校准，无需外部设备或人工干预，即可确保传感器输出数据的准确性和稳定性。
主权项：1.一种MEMS传感器自校准系统，其特征在于，所述系统包括激励信号模块、MEMS传感器和MCU芯片；所述激励信号模块连接MCU芯片，根据控制信号输出不同的激励信号，所述激励信号送入至MEMS传感器，控制MEMS传感器内部梳齿电容的电容值；所述MCU芯片采集MEMS传感器的信号值，并进行信号矫正输出；所述MCU获取各激励信号在对应梳齿电容值下输出的校准数据，并与激励信号作用下的实际信号值进行线性度比较，计算并更新MEMS传感器的自检增益；在正常工作模式下，所述MCU获取MEMS传感器的实测信号值，并基于更新后自检增益计算输出校准信号值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡国芯微高新技术有限公司 MEMS传感器自校准系统和自校准方法
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