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一种氧化锌基紫外光电探测器及其制备方法 

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申请/专利权人:沈阳工程学院

摘要:本发明涉及光电探测技术领域,公开了一种氧化锌基紫外光电探测器及其制备方法,其紫外光电探测器包括:衬底;氧化锌基层,所述氧化锌基层制备于所述衬底上;电极,所述电极包括第一电极和第二电极,所述电极制备于所述氧化锌基层表面两端;光敏层,所述光敏层制备于所述氧化锌基层上未被电极覆盖的表面;封装层,所述封装层制备于所述光敏层上。本申请使用氧化锌基层,可以有效提高对紫外光的选择性探测能力,并且有助于提高探测器的光电转换效率和响应速度。

主权项:1.一种氧化锌基紫外光电探测器,其特征在于,包括:衬底;氧化锌基层,所述氧化锌基层制备于所述衬底上;电极,所述电极包括第一电极和第二电极,所述电极制备于所述氧化锌基层表面两端;光敏层,所述光敏层制备于所述氧化锌基层上未被电极覆盖的表面;封装层,所述封装层制备于所述光敏层上。

全文数据:

权利要求:

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