龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：山东师范大学
摘要：本发明属于微纳加工技术领域，涉及一种适用于非真空环境下的紫外光软模纳米压印软模板及其制备方法和应用。本发明利用全氟十二烷基三氯硅烷制备抗粘层，采用二甲基硅氧烷作为纳米压印软模板。将此双层复合软模板加载到自主搭建的纳米压印设备能够在非真空环境下保持较高的压印均匀性，实现低成本、大面积、微纳尺寸可调的周期性纳米结构制造，在微纳光子器件、太阳能电池板、薄膜电池、弯曲显示器等柔性电子器件等领域具有广泛的应用前景。
主权项：1.一种适用于非真空环境下的紫外光软模纳米压印软模板的制备方法，其特征在于，采用以下步骤：（1）对带有微纳结构的母模板进行预处理；（2）在步骤（1）所述预处理的母模板上沉积抗粘层材料；（3）将聚二甲基硅氧烷溶液旋涂在覆盖有步骤（2）所述沉积抗粘层材料的母模板上形成特征层，预烘部分固化，然后将母模板放置在预成型模具中，将聚二甲基硅氧烷浇铸到模具中，充分烘烤，聚二甲基硅氧烷和特征层粘结为一体，从母模板上剥离，制得所述软模板。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 山东师范大学 一种适用于非真空环境下的紫外光软模纳米压印软模板及其制备方法和应用
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号