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申请/专利权人：清华大学
摘要：本公开涉及电场测量技术领域，包括直接定量测量近场电场强度的方法、装置及存储介质。通过控制散射式扫描近场光学显微镜的针尖在待测样品表面的测试点上方，沿垂直于待测样品表面的第一方向移动，得到各个移动位置对应的第一测量结果；基于第一测量结果确定第一渐进曲线和第二渐进曲线；基于第一渐进曲线确定针尖的振动平衡位置；基于第二渐进曲线确定针尖的等效几何形状的形状参数；控制针尖在平行于待测样品表面的第二方向上移动，得到第二测量结果；基于第二测量结果、形状参数、振动平衡位置和电场强度测量模型，确定待测样品表面的近场电场强度；实现直接得到待测样品表面的近场电场强度分布，从而实现两次扫描结果之间的电场强度比较。
主权项：1.一种直接定量测量近场电场强度的方法，其特征在于，所述方法包括：控制散射式扫描近场光学显微镜的针尖在待测样品表面的测试点上方，沿垂直于所述待测样品表面的第一方向移动，得到各个移动位置对应的第一测量结果；基于所述第一测量结果确定第一渐进曲线和第二渐进曲线；其中，所述第一渐进曲线用于指示所述针尖的振幅与所述移动位置之间的变化关系；所述第二渐进曲线用于指示所述针尖与所述待测样品表面之间形成的近场电场与所述移动位置之间的变化关系；基于所述第一渐进曲线确定所述针尖的振动平衡位置；基于所述第二渐进曲线确定所述针尖的等效几何形状的形状参数；控制所述针尖在平行于所述待测样品表面的第二方向上移动，得到第二测量结果；基于所述第二测量结果、所述形状参数、所述振动平衡位置和预设的电场强度测量模型，确定所述近场电场的近场电场强度；其中，所述电场强度测量模型用于指示所述第二测量结果、所述形状参数、所述振动平衡位置和所述近场电场强度之间的关系。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清华大学 直接定量测量近场电场强度的方法、装置及存储介质
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