龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：国科光芯金杏(北京)实验室科技有限公司
摘要：一种复合光波导结构，复合光波导结构包括衬底、下包层、形成于复合光波导层的复合光波导芯和上包层；下包层、复合光波导层、上包层依次层叠设置于衬底；所述复合光波导层由压应力层和张应力层构成，压应力层设置于张应力层和下包层之间，且压应力层和张应力层的厚度经设计为其形成的压应力和张应力相匹配，以便沉积形成平整的光学膜层。利用压应力层平衡张应力层的拉应力，缓解张应力层高的拉应力导致衬底的翘曲问题，保证后续的光刻、刻蚀工艺正常进行，确保光波导的尺寸精度。
主权项：1.一种复合光波导结构，其特征在于：复合光波导结构包括衬底、下包层、形成于复合光波导层的复合光波导芯和上包层；下包层、复合光波导层、上包层依次层叠设置于衬底；所述复合光波导层由压应力层和张应力层构成，压应力层设置于张应力层和下包层之间，且压应力层和张应力层的厚度经设计为其形成的压应力和张应力相匹配，以便沉积形成平整的光学膜层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 国科光芯金杏(北京)实验室科技有限公司 一种复合光波导结构、制作方法和移相器
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号