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申请/专利权人：深圳市溢诚电子科技有限公司;华为技术有限公司
摘要：本发明公开了一种应用于芯片的除油剂及使用方法，包括以下组分质量浓度：氢氧化钠0.5‑1.5gL、有机溶剂2‑8gL、表面活性剂100‑300mgL、络合剂3‑6gL、润湿剂1‑3gL，余量为去离子水。该除油剂可以很好清洗晶圆表面，对指纹印、化学残留物具备优异的清洗能力，且本身不会残留在基材表面，易于水洗，同时对铝基材的微观表面具有微蚀作用提高铝表面的平整度。
主权项：1.一种应用于芯片的除油剂，其特征在于，包括以下质量浓度的组分：氢氧化钠0.5-1.5gL、有机溶剂2-8gL、表面活性剂100-300mgL、络合剂3-6gL、润湿剂1-3gL，余量为去离子水；所述有机溶剂为磷酸油烯基酯和3-羟基癸酸甲酯组成的组合物；所述表面活性剂为4,5-二氨基-6-羟基嘧啶半硫酸盐和十六烷基甲硫基磺酸盐组成的组合物。
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