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申请/专利权人：上海彤程电子材料有限公司;上海清华国际创新中心;北京科华微电子材料有限公司
摘要：本发明涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种含有发色团的硅氧烷的制备方法。本发明提供的一种含有发色团的硅氧烷的制备方法，包括如下步骤：含有异氰酸根的硅氧烷与含有活泼氢和发色团的化合物反应得到所述含有发色团的硅氧烷。本发明提供的含有发色团的硅氧烷的制备方法，通过利用异氰酸根和活泼氢之间的高反应活性，合成了含有发色团的硅氧烷；通过该制备方法合成的含有发色团的硅氧烷纯度高，后处理步骤更加简单，且不存在合成的含有发色团的硅氧烷单体聚合的问题。
主权项：1.一种含有发色团的硅氧烷的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：含有异氰酸根的硅氧烷与含有活泼氢和发色团的化合物反应得到所述含有发色团的硅氧烷。
全文数据：
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百度查询： 上海彤程电子材料有限公司 上海清华国际创新中心 北京科华微电子材料有限公司 一种含有发色团的硅氧烷的制备方法
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