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申请/专利权人：上海果纳半导体技术有限公司
摘要：一种晶圆缺陷检测设备，包括：晶圆载台，用于固定待检测晶圆；图像获取模块，包括第一晶圆，所述第一晶圆中形成有图像传感器阵列，所述图像获取模块通过图像传感器阵列进行一次拍摄获得所述待检测晶圆整个表面对应的检测图像；缺陷判断模块，用于根据所述图像获取模块获得的检测图像，判断所述待检测晶圆的表面是否存在缺陷。由于所述图像获取模块包括第一晶圆，所述第一晶圆中形成有图像传感器阵列，因而图像传感器阵列中相邻的图像传感器之间的位置是固定不变的，从而在进行缺陷的检测时，相邻的图像传感器之间的前后左右位置以及高度位置无需进行校准。并且，可以减小整个晶圆缺陷检测设备占据的体积以及提高了缺陷检测的效率。
主权项：1.一种晶圆缺陷检测设备，其特征在于，包括：晶圆载台，用于固定待检测晶圆；图像获取模块，所述图像获取模块包括第一晶圆，所述第一晶圆包括相对的第一表面和第二表面，所述第一表面形成有图像传感器阵列，所述图像传感器阵列通过半导体集成制作工艺形成在所述第一晶圆中，所述第一晶圆的一整块晶圆都用于形成所述图像传感器阵列，所述图像传感器阵列包括若干图像传感器，所述若干图像传感器呈行列排布的分布在所述第一晶圆中，所述图像获取模块通过图像传感器阵列进行一次拍摄获得所述待检测晶圆整个表面对应的检测图像；所述图像获取模块还包括第二晶圆，所述第二晶圆与所述第一晶圆的第二表面键合连接，所述第二晶圆中形成有若干信号处理电路，所述若干信号处理电路用于对若干图像传感器同一次拍摄中对应获得的若干图像进行图像处理获得所述待检测晶圆整个表面对应的检测图像；缺陷判断模块，所述缺陷判断模块根据所述图像获取模块获得的检测图像，判断所述待检测晶圆的表面是否存在缺陷。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海果纳半导体技术有限公司 晶圆缺陷检测设备
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