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申请/专利权人：科峤工业股份有限公司
摘要：本发明提供一种物料传送盒的清洁方法及其设备，包括先分离物料传送盒成为一前盖及一盒体，接着对该前盖及盒体各自的依序进行一湿清洗、一除液及一真空干燥的工序，随后结合该前盖和盒体，完成物料传送盒的清洁程序；特别的，在该除液工序中使用多个风刀对自转中的该盒体进行除液，以及在真空干燥工序中使用多个热能元件在真空环境下对该盒体进行除液后的真空干燥，以改善传统晶元传送盒的自动化清洁制程中的湿清洁工序难以有效清洁内部构造相对复杂的物料传送盒的问题。
主权项：1.一种物料传送盒的清洁方法，实施于一清洁加工区站中，其特征在于，该清洁方法包括：先分离物料传送盒成为一前盖及一盒体，使该盒体具有一开口，接着对该前盖及该盒体各自的依序进行一湿清洗、一除液及一真空干燥的工序，随后结合该前盖和该盒体，其中该盒体的所述湿清洗、除液及真空干燥工序分别在多个相异的腔室内各自进行，所述多个相异的腔室分布于该清洁加工区站的四周，包括：湿清洗用的至少一盒体清洗腔室、除液用的至少一盒体除液腔室以及真空干燥用的至少一盒体真空干燥腔室，其中：该盒体的一底部凸伸有至少一悬状支撑杆，该盒体的内表面包含该悬状支撑杆的四周表面；该盒体以开口朝下且自转的方式在所述盒体除液腔室内接受除液，所述盒体除液腔室内使用多个能在相异轴向提供呈面状分布的线性热风力的风刀，邻近地对自转中的该盒体的内表面及外表面进行真空干燥前的预热及除液；所述风刀包含一底部风刀及一侧向风刀，该底部风刀横跨于该转台的底部，该侧向风刀以垂立方式设置于所述盒体除液腔室的内壁的一侧，且该底部风刀提供的线性热风力能经由该开口而喷吹该盒体的内表面，该侧向风刀提供的线性热风力能喷吹该盒体的外表面；及所述盒体真空干燥腔室在真空环境下使用多个热能元件对该盒体的内表面及外表面进行除液后的真空干燥。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 科峤工业股份有限公司 物料传送盒的清洁方法及其设备
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