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申请/专利权人：江西杰创半导体有限公司;杰创半导体(苏州)有限公司
摘要：本申请公开了一种可探测多种气体的DFB激光器及其制备方法，DFB激光器的光栅层包括若干相互隔离、周期不同的光栅结构，以出射不同波长激光，量子阱层的增益范围覆盖若干光栅结构出射的激光波长；第一绝缘介质层上设有位于若干光栅结构的正投影区域的若干P型欧姆接触区；第二绝缘介质层上设有与若干P型欧姆接触区一一对应连接的P电极；衬底背离N型缓冲层一面设有N电极；DFB激光器内部还设有用于将若干光栅结构出射激光引出至第二侧端面的波导区域。本申请通过选择不同的P电极加电，能够实现出射激光的波长选择，从而探测不同的气体，实现单一激光器对不同气体的探测。
主权项：1.一种可探测多种气体的DFB激光器，其特征在于，包括依次层叠设置的衬底、N型缓冲层、下波导层、量子阱层、上波导层、间隔层、光栅层、P型层、欧姆接触层、第一绝缘介质层和第二绝缘介质层，所述DFB激光器包括相背设置的第一侧端面和第二侧端面，所述第一侧端面和所述第二侧端面分别布置有HR膜和AR膜；其中，所述光栅层包括若干相互隔离、周期不同的光栅结构，以出射不同波长激光，所述量子阱层的增益范围覆盖所述若干光栅结构出射的激光波长；所述第一绝缘介质层上设有位于所述若干光栅结构的正投影区域的若干P型欧姆接触区；所述第二绝缘介质层上设有与所述若干P型欧姆接触区一一对应连接的P电极；所述衬底背离所述N型缓冲层一面设有N电极；所述DFB激光器内部还设有用于将所述若干光栅结构出射激光引出至所述第二侧端面的波导区域；所述DFB激光器用于通过选择加电的所述P电极，控制对应的所述P型欧姆接触区和所述光栅结构工作，出射一种波长的激光，以及通过选择不同的所述P电极加电，实现出射激光的波长选择。
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