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用于DFB激光器芯片的表面结构质量检测方法及系统 

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申请/专利权人:江苏永鼎股份有限公司

摘要:本发明提供了用于DFB激光器芯片的表面结构质量检测方法及系统,涉及图像处理技术领域,包括:根据工业相机,对DFB激光器芯片进行全面扫描,获得芯片全景图像;根据芯片图像增强函数进行增强处理,获得DFB激光器芯片图像;进行分水岭特征分割,获得多个芯片区域图像;根据芯片表面结构质量检测因子进行期望偏离检测学习,搭建芯片表面质量偏离检测通道;分别对多个芯片区域图像进行表面结构质量分析,获得多个芯片区域表面质量系数;绘制DFB激光器芯片表面检测云图。本发明解决了现有技术的芯片质量检测方法通常依赖简单的图像处理算法,仅能够从宏观角度进行分析,对芯片表面缺陷的识别能力有限,导致检测精度低的技术问题。

主权项:1.用于DFB激光器芯片的表面结构质量检测方法,其特征在于,所述方法包括:根据工业相机,对DFB激光器芯片进行全面扫描,获得芯片全景图像;根据芯片图像增强函数对所述芯片全景图像进行增强处理,获得DFB激光器芯片图像;根据所述DFB激光器芯片图像进行分水岭特征分割,获得多个芯片区域图像;根据芯片表面结构质量检测因子进行期望偏离检测学习,搭建芯片表面质量偏离检测通道,其中,所述芯片表面结构质量检测因子包括表面纹理特征、几何特征和微结构特征;基于所述芯片表面质量偏离检测通道,根据芯片表面质量梳理函数,分别对所述多个芯片区域图像进行表面结构质量分析,获得多个芯片区域表面质量系数;根据所述多个芯片区域表面质量系数,绘制DFB激光器芯片表面检测云图。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 江苏永鼎股份有限公司 用于DFB激光器芯片的表面结构质量检测方法及系统

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