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申请/专利权人:成都奕成集成电路有限公司
摘要:本申请提供一种芯片封装结构的制作方法、芯片封装结构及电子设备,涉及半导体制造技术领域,所述方法包括:提供一封装基板,封装基板包括相对设置的第一表面及第二表面,封装基板包括呈阵列分布且嵌入封装材料中的多个芯片,每个芯片周围包括多个待切割区;在封装基板的第二表面形成第一膜层;基于部分待切割区在封装基板的第一表面进行半切,在部分待切割区形成半切槽;将封装基板放置于真空吸附平台上,通过真空吸附平台对封装基板进行真空吸附;在封装基板的第一表面进行植球,形成焊料球,如此,可以降低翘曲,使真空吸附平台能够对封装基板进行真空吸附,可以实现自动化生产,并提高生产效率。
主权项:1.一种芯片封装结构的制作方法,其特征在于,所述方法包括:提供一封装基板,所述封装基板包括相对设置的第一表面及第二表面,所述封装基板包括呈阵列分布且嵌入封装材料中的多个芯片,每个所述芯片周围包括多个待切割区;在所述封装基板的第二表面形成第一膜层;基于部分所述待切割区在所述封装基板的第一表面进行半切,在部分所述待切割区形成半切槽;将所述封装基板放置于真空吸附平台上,通过所述真空吸附平台对所述封装基板进行真空吸附,所述第一膜层与所述真空吸附平台接触;在所述封装基板的第一表面进行植球,形成焊料球。
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权利要求:
百度查询: 成都奕成集成电路有限公司 芯片封装结构的制作方法、芯片封装结构及电子设备
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