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申请/专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
摘要：本发明提供一种测试结构、失效定位方法以及失效分析方法，测试结构包括：链式结构以及dummy金属线；链式结构包括第一金属层、第二金属层以及通孔，第一金属层位于第二金属层的上一层级，第一金属层通过通孔与第二金属层连接；第一金属层沿第一方向间隔排布形成多列，并沿第二方向间隔排布形成多行；链式结构与dummy金属线之间设置有定位结构，定位结构与第一金属层的列数和行数相对应设置，用于定位链式结构中的某一第一金属层的位置。如此配置，通过在链式结构与dummy金属线之间增设定位结构，使得操作人员在对超大面积链式结构进行测试时，能够在发现失效位置后，通过定位结构对失效位置进行定位，提升了失效定位的效率和准确性。
主权项：1.一种测试结构，其特征在于，包括：链式结构以及dummy金属线；所述链式结构包括第一金属层、第二金属层以及通孔，所述第一金属层位于所述第二金属层的上一层级，所述第一金属层通过所述通孔与所述第二金属层连接；所述第一金属层沿第一方向间隔排布形成多列，并沿第二方向间隔排布形成多行；所述dummy金属线填充于所述链式结构的四周；所述链式结构与所述dummy金属线之间设置有定位结构，所述定位结构与所述第一金属层的列数和行数相对应设置，用于定位所述链式结构中的某一所述第一金属层的位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海华力集成电路制造有限公司 测试结构、失效定位方法以及失效分析方法
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