龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：上海华力集成电路制造有限公司
摘要：本发明提供一种测试结构、失效定位方法以及失效分析方法，测试结构包括：梳状结构、金属连线以及多个半导体结构；半导体结构包括：阱区、有源区以及多个栅极，多个栅极沿第一方向间隔排布；在相邻的两个半导体结构中，一个半导体结构中的有源区和多个栅极通过金属连线依次连接；另一个半导体结构中的有源区和多个栅极与金属连线一一对应地连接，且一一对应的金属连线之间相互独立；梳状结构通过金属连线与半导体结构连接。如此配置，通过将上述两种不同的金属连线的连线方式间隔排布，使得在电压衬度图像中能够看到明暗差异，并能够快速定位出现异常的失效点，提升了失效定位的效率，同时也不易遗漏小尺寸缺陷，进一步提升了失效定位的精准度。
主权项：1.一种测试结构，其特征在于，包括：梳状结构、金属连线以及多个半导体结构；所述半导体结构包括：阱区、有源区以及设置于所述阱区上的多个栅极，多个所述栅极沿第一方向间隔排布；多个所述半导体结构沿第二方向间隔设置，在相邻的两个所述半导体结构中，一个所述半导体结构中的所述有源区和多个所述栅极通过一根所述金属连线依次连接；另一个所述半导体结构中的所述有源区和多个所述栅极与所述金属连线一一对应地连接，且一一对应的所述金属连线之间相互独立；所述梳状结构通过所述金属连线与所述半导体结构连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海华力集成电路制造有限公司 测试结构、失效定位方法以及失效分析方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号